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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修，请务必确认维修厂家有无如下设备及备件：氦质谱检漏仪：是用来测试分子泵有无渗漏的，五轴磁悬浮分子泵维修后，因真空密封及接口较多，很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差，又直接导致镀膜质量差。

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分子泵如在阴冷潮湿的环境或抽除弱酸气体的环境使用，停机前抽入一定量的干燥空气；如遇突然停水，停水以后应即刻停泵，否则泵会因过热而卡死或烧毁电机等；泵工作时不要频繁起停，这样会影响泵的寿命。